光半導体　徹底した品質管理

解析装置

装置一覧

List of equipment

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解析名称 解析装置 解析内容
外観解析 顕微鏡（実体・金属） デバイスパッケージ、リード、異物等の外観観察
マイクロスコープ 外観観察における深度合成、2D計測、高解像度観察
波形・特性解析（動作検証） テスター・オシロスコープ
パルスジェネレータ		 デバイス特性測定、電気信号のパルス生成、波形の設定・時間
経過に対する変動観察
I-V特性測定 カーブトレーサー デバイスの電流-電圧特性（I-V特性）の計測
Ｘ線透視観察（非破壊観察） Ｘ線装置 Ｘ線照射による内部構造観察
電子顕微鏡（破壊解析）・成分分析 SEM・EDX 電子ビーム照射による２次電子、反射電子観察、成分分析
絶縁耐圧解析（破壊試験） 油中耐圧試験装置 デバイスの絶縁耐圧実力値検証試験
チップ解析 マニュアルプローバー チップ特性（ダイシング後のチップ、単独チップ）調査
断面研磨
出来栄え観察（破壊解析）		 試料研磨 目的箇所の観察面作成（鏡面仕上）
固定として樹脂埋込も可能

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解析装置 装置概要 保有台数
金属顕微鏡

●ECLIPSELV150
観察倍率~×500倍
Nikon製ECLIPSELV150 他

 顕微鏡
複数台保有
解析装置 装置概要 保有台数
デジタル
マイクロスコープ

キーエンス製VHX-900
観察倍率~×1000倍

 1台
解析装置 装置概要 保有台数
テスター
オシロスコープ
パルスジェネレータ

●ICテスター
●オシロスコープ
●パルスジェネレータ

各社メーカー組合せ可能

 複数台保有
解析装置 装置概要 保有台数
カーブトレーサー

●IWATSU CS-3100
●Tektronix 370B

ステップゼネレータ機能搭載
（最大ピーク電力220W、
電圧2000V、電流10A）

 複数台保有
解析装置 装置概要 保有台数
Ｘ線装置

SHIMADZU製
SMX-1000PLUS
透視画像分解能5um

 1台
解析装置 装置概要 保有台数
SEM・EDX

●SEM：
日立ハイテクノロジーズ製
SU-1500

●EDX：
HORIBA製EMAX

●SEM：
日立ハイテクノロジーズ製
TM4000PLUS

 SEM2台
EDX1台
解析装置 装置概要 保有台数
油中耐圧試験装置

KIKUSUI製
SPEC80638耐圧試験器
最大AC30KV印加

 1台
解析装置 装置概要 保有台数
マニュアルプローバー

APOLLOWAVE製
カーブトレーサー等
との組み合わせ

 1台
解析装置 装置概要 保有台数
試料研磨

リファインテック製
研磨ディスク：190mm
回転数：580rpm
（任意設定可能）

 1台

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